厦门奇立节能科技有限公司
经营模式:经销批发
地址:厦门市翔安区马巷街道巷北二路14-103号
主营:空压机,螺杆空压机
业务热线:0592-7256106
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厦门奇立节能科技有限公司是福建厦门专门从事空气压缩机整机代理、销售、租赁和售后服务于一体的公司,致力于(厦门、漳州、泉州)螺杆空压机的节能推广、销售及服务。
互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对有很高的抽速,但不能抽,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
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应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
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分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长



